濕式電除塵器可解決高溫、高低溫的塵及含有一定黏性的粉塵，另外也可以凈化一些有害物質，如颶風水膜除塵器和濕法脫硫反應塔。過濾式除塵器設備：過濾式除塵器設備除灰原理類似防護口罩，是根據過濾系統對空氣中的灰渣顆粒物開展機械設備阻攔來完成的，另先接到的灰渣顆粒物在過濾材料表層產生了一層濃稠的平穩的灰塵，稱之為濾餅或慮床，它又起了非常好的過濾功效。靜電感應式除塵，運用正電荷同性相斥的基本原理，先使入口的粉塵感應起電隨后被吸咐在帶反過來正電荷的除塵內壁；
清洗式除塵器設備：清洗式除塵器設備包含水浴式除塵器設備、泡沫式除塵器設備，文丘里管除塵器設備、水膜式除塵器設備等。靜電感應式除塵，運用正電荷同性相斥的基本原理，先使入口的粉塵感應起電隨后被吸咐在帶反過來正電荷的除塵內壁；機械式除塵器設備：機械式除塵器設備包含作用力除塵器設備、抽濾除塵器設備和慣性力除塵器設備。
無塵室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
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